產(chǎn)品描述
邁博瑞CMPro-D系列熔噴濾芯專為化學(xué)機(jī)械研磨(chemical mechanical polishing,CMP)過濾而設(shè)計(jì)。有效去除各種CMP slurry中的團(tuán)聚顆粒或膠體,同時(shí)保留有效研磨顆粒,保持slurry粒徑分布不變。該系列產(chǎn)品采用獨(dú)特的專利復(fù)合結(jié)構(gòu),制備出孔徑漸變的深層聚丙烯濾材。濾材外層(upstream)由連續(xù)的熔噴濾材構(gòu)成,有利于最大化納污容量,延長(zhǎng)濾芯使用壽命以及有效降低成本。濾材內(nèi)層(down-stream)由納米纖維膜卷繞而成,提供杰出的過濾效率,確??煽康倪^濾效果。
產(chǎn)品特點(diǎn)
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大梯度的分級(jí)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),確保濾芯的過濾效率并最大化使用壽命
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超細(xì)纖維結(jié)構(gòu)有效攔截造成劃傷的大顆粒,同時(shí)保留所需研磨顆粒
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更長(zhǎng)的使用壽命有助于降低成本
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純PP材質(zhì),不使用表面活性劑和粘結(jié)劑,確保低析出
典型應(yīng)用
產(chǎn)品保證
工作特性
材 料 | 過濾層/支撐層 | 聚丙烯 |
中心桿/端蓋 | 聚丙烯 | |
密封圈 | EPDM | |
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精度 | 70nm, 0.1μm, 0.2μm, 0.3μm, 0.5μm, 0.7μm, 1.0μm | |
尺寸規(guī)格 | 外徑 | 69mm |
長(zhǎng)度 | 10inch, 20inch | |
最大使用條件 | 最大正向壓差 | 0.52 MPa (75 psi) @ 25 ?C (77 ?F) |
0.19 MPa (27 psi) @ 82 ?C (179 ?F) | ||
最大反向壓差 | 0.21 MPa (30 psi) @ 25 ?C (77 ?F) | |
最高使用溫度 | 80 ?C (176 ?F) | |
包裝方式 | 干包裝;超純水預(yù)潤(rùn)濕包裝 |