Wet-Fluoride系列全氟濾芯—半導(dǎo)體Wet濕制程用全氟濾芯

邁博瑞Wet-Fluoride系列濾芯為全氟結(jié)構(gòu)的濾芯。這一系列的濾芯采用了高流速的PTFE膜，專(zhuān)為半導(dǎo)體Wet應(yīng)用中的SC1，SC2，49HF，HNO3，EKC，NMP等液體過(guò)濾打造。 優(yōu)良的濾芯設(shè)計(jì)，確保在使用時(shí)壓降低的同時(shí)兼具有較好的顆粒去除效果。全氟的材料保證了濾芯具有極低的溶出物或者其他可能對(duì)工藝造成污染的成分，同時(shí)在使用過(guò)程中提供了非常良好的過(guò)濾效果。

產(chǎn)品描述

邁博瑞Wet-Fluoride系列濾芯為全氟結(jié)構(gòu)的濾芯。這一系列的濾芯采用了高流速的PTFE膜，專(zhuān)為半導(dǎo)體Wet應(yīng)用中的SC1，SC2，49HF，HNO3，EKC，NMP等液體過(guò)濾打造。
優(yōu)良的濾芯設(shè)計(jì)，確保在使用時(shí)壓降低的同時(shí)兼具有較好的顆粒去除效果。全氟的材料保證了濾芯具有極低的溶出物或者其他可能對(duì)工藝造成污染的成分，同時(shí)在使用過(guò)程中提供了非常良好的過(guò)濾效果。
 

特點(diǎn)

  1. 優(yōu)秀的流量和更長(zhǎng)使用壽命
  2. 優(yōu)秀的化學(xué)和溫度耐受性能
  3. 全氟結(jié)構(gòu)和極低的溶出性能
  4. 便捷的預(yù)濕選項(xiàng)
  5. 100%濾芯完整性檢測(cè)

典型應(yīng)用

半導(dǎo)體制程液體過(guò)濾

產(chǎn)品保證

工作特性

材 料 濾膜：PTFE
支撐層，外殼：PFA
密封圈：TEV/FFKM
精 度 10nm, 20nm, 30nm, 50nm, 0.1μm, 0.2μm
膜面積 SX (φ68mm)      1.2 m2/10”
MX (φ81mm)      1.8 m2/10”
MY (φ81mm)      2.2 m2/10”
MZ (φ81mm)      2.8 m2/10”
最大使用條件

最大正向壓差       0.5 MPa (72 psi) @ 25 oC (77 °F)

                            0.2 MPa (29 psi) @ 100 oC (212 °F)
最大反向壓差       0.35 MPa (50 psi) @ 25 oC (77 °F)
最高使用溫度       100 oC (212 °F)
包裝方式 干包裝；超純水預(yù)潤(rùn)濕包裝

wet-fluoride系列全氟濾芯尺寸

 

 

 

訂購(gòu)信息

 

下載資料

 

 

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