產(chǎn)品描述
Wet-Vast系列濾芯采用了PTFE濾膜搭配HDPE支撐材料。PTFE和HDPE材料均具有良好的化學(xué)兼容性，使其可以適合于多種藥液的應(yīng)用，能夠有效地去除半導(dǎo)體工業(yè)用高純度化學(xué)品中的微粒。有多種精度和孔徑的濾芯方案可供選擇，以滿足客戶的要求。
產(chǎn)品特點(diǎn)
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濕刻蝕和清洗
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適合是多種類的化學(xué)品過濾
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高流速，低壓差，更長使用壽命
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便捷的預(yù)濕選項(xiàng)
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100%濾芯完整性檢測(cè)
典型應(yīng)用
產(chǎn)品保證
工作特性
| 材 料 | 濾膜 | PTFE |
| 支撐層，外殼 | HDPE | |
| 密封圈 | EPDM/TEV | |
| 精度 | 20nm, 30nm, 50nm, 0.1μm, 0.2μm | |
| 膜面積 | SX (φ68mm) | 1.2 m2/10” |
| MX (φ81mm) | 1.8 m2/10” | |
| MY (φ81mm) | 2.2 m2/10” | |
| MZ (φ81mm) | 2.8 m2/10” | |
| 最大使用條件 | 最大正向壓差 | 0.4 MPa (58 psi) @ 25℃ (77 °F) |
| 最大反向壓差 | 0.3 MPa (43 psi) @ 25℃ (77 °F) | |
| 最高使用溫度 | 40℃ (104 °F) | |
| 包裝方式 | 干包裝；超純水預(yù)潤濕包裝 | |
產(chǎn)品尺寸
流量-壓差曲線
訂購信息
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WVC |
精度 |
直徑 |
端蓋 |
長度 |
密封圈 |
金屬潔凈度 |
包裝方式 |
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A (20nm) C (30nm) G (50nm) B (0.1μm) J（0.2μm） |
SX（φ68mm,0.9m2） MX（φ81mm,1.8m2） MY（φ81mm,2.2m2） MZ（φ81mm,2.8m2） |
N（222 平頭） |
04 (4”) 10 (10”) 20 (20”) |
P（EPDM） T (TEV) |
Q（＜10ug/device） R（＜25ug/device） E（Electronic） |
D (干包裝) W (超純水預(yù)潤濕包裝) |